半导体芯片的生产车间都有着严格的生产条件要求,比如恒温恒湿,无尘洁净等,芯片只有在适合的环境能才能正常发挥作用,而和记AG平台娱乐官网周围的正常环境大多数情况下并不能做到这一点,所以需要封测来保护芯片,为其制造一个良好的工作环境。支撑功能则有两个部分,一为支撑芯片,固定好芯片便于电路连接,另一则是形成一定外型支撑整个器件,使得器件免受损坏。和记AG平台娱乐官网洁净无尘烘箱适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
洁净无尘烘箱具备以下特点:
1、SUS304 1.5mm不锈钢板,全满焊工艺;
2、箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式,可以使箱内保证微正压,以保证污染物不能进入内箱;
3、高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;
4、配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充氮烘烤;
5、全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等;
6、超温保护器,配置马达过载保护器,蜂鸣器,故障指示灯,无熔丝开关。