典型的 IC 封装组装流程由许多工艺步骤组成,其中许多步骤需要干燥或固化,也需要用到半导体烘箱。这些固化步骤通常在 125℃ 至 175℃的各种温度下在烘箱中进烘烤1 至 6 小时。
1. 基材烘烤:组装过程的首先是固化步骤,用于烘烤针栅阵列 (PGA)、球栅阵列 (BGA) 和芯片级 (CSP) 封装的有机基板中的潜在水分。
2. 底部填充固化:倒装芯片 (FC) 管芯焊接到基板后,IC 管芯表面和基板之间的间隙用低粘度、二氧化硅填充的环氧树脂“底部填充”,以减少管芯之间热膨胀系数的不匹配和层压基板。
3. 散热器固化:功耗的增加和管芯尺寸的减小正在推动将散热器连接到封装和 FC 管芯背面的日益增长的需求。许多不同的粘合剂材料,以液体(或糊状)和薄膜(或预制件)形式提供,用于此应用。
4. 模具粘合固化:在大多数引线键合 (WB) 应用中,IC 管芯被粘合到金属引线框架或层压基板上。粘合剂含有填充颗粒,使其具有导电性或绝缘性,具体取决于芯片背面是否需要电偏置或热连接。在多芯片和堆叠芯片应用中,芯片键合和固化操作可能会重复两到五次。
5. 涂层固化:涂层可以用来保护 IC 芯片免受模塑料中离子杂质的腐蚀影响,涂覆长、细间距引线键合的工艺,以防止模具上的线扫和电气短路;旋涂抗蚀剂的工艺。
6. 封装固化:具有 WB 或 FC 互连的 COB 应用通常用从注射器分配的液态、二氧化硅填充的环氧树脂材料进行封装。用较低粘度的自流平环氧树脂填充阻塞区域,以覆盖和保护芯片。对于填充材料来说,实现对坝材料和底层组件的良好、无空隙的附着力至关重要。在整个固化过程中,填充材料必须与坝材料顶部保持水平。
7. 灌胶固化:液体密封剂还用于封装光学元件,例如 LED 灯和显示器,以及许多大型电子元件外壳。
8. 模后固化:绝大多数封装都包含单个 IC 芯片和 WB 互连,随后使用热固性环氧树脂模塑料进行转移成型。将粒状化合物注入热模具中以在 IC 模具周围形成主体,并在模具中在固化 1 至 2 分钟。从模具中脱模后,封装需要额外的固化过程,称为模后固化,
9. 标记干燥:当今使用的大多数标记油墨要么用紫外线 (UV) 光固化,要么热固化。它们的配方具有良好的附着力和耐溶剂性。
10. 干包烘烤:在装运对湿气敏感的 IC 封装之前,将它们彻底干燥或烘烤,并在称为干燥包装的操作中密封在气密袋中。如果IC吸收大气中的水分,在随后的电路板组装加工过程中,它们很可能会出现封装破裂的情况。
针对不同的工艺阶段,考虑到工艺要求,产能要求与经济性,可选择不同的烘箱来适用。包括可能的无氧烤箱(基材烘烤,固晶烘烤),真空烤箱(真空脱泡烘烤,晶圆烘烤),普通鼓风精密烤箱(成品除湿干燥),双开门平底式烤箱(批量灌胶固化烘烤)。