使用等离子体是一种有效的清洁方式，无需使用危险溶剂。等离子体是一种电离气体，能够导电并从电源中吸收能量。人为的等离子体通常是在低压环境下产生的（闪电和北极光是自然发生的等离子体的例子）。当气体吸收电能时，其温度升高，导致离子振动更快，并 "擦洗 "一个表面。

在半导体加工中，等离子体清洗通常被用来在焊线前准备晶圆表面。去除污染（助焊剂）可以加强粘接的粘性，这有助于延长设备的可靠性和寿命。

在生物医学应用中，等离子体清洗对于实现合成生物材料和天然组织之间的兼容性很有用。表面改性可以最大限度地减少不良反应，如炎症、感染和血栓形成。

典型应用：
- 电线连接表面处理
- 去除污染物（焊剂）或对表面进行消毒
- 促进两个表面之间的粘连
- 控制表面张力以达到疏水或亲水的表面
- 提高生物相容性
- 通过交联提高聚合物的性能，减少磨损设备的摩擦力

等离子清洗如何工作一一离子激发
当气体吸收电能时，其温度升高导致离子振动加快。在惰性气体（如氩气）中，被激发的离子可以轰击表面并去除少量材料。在活性气体的情况下，如氧气，会发生离子轰击和化学反应。因此，有机化合物和残留物会挥发并被清除。

无线电频率（RF）、微波、交流电或直流电可以给气体等离子体提供能量。气体等离子体中的高能物种包括离子、电子、自由基、可转移物质和短波紫外线（UV）范围内的光子。高能物种轰击基体，导致能量从等离子体转移到表面。能量转移通过化学和物理过程耗散到整个基材上，以达到理想的表面改性--在不改变材料的大体属性的情况下，与几百埃到10微米的表面深度发生反应。