
非标定制玻璃基板自动化隧道炉烘烤案例
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产品详情
产品内容介绍
设备简介:
和记AG平台娱乐官网针对玻璃基板等产品的自动化隧道炉,前后可连接自动化上下料机械手,特制支撑传送链条,上下侧都可以空气流动达到良好的烘烤效果。炉体可以升降打开,便于内部碎料清理以及维修。双层炉体结构,保温效果好,能耗低。
应用范围:
玻璃基板隧道炉烘烤是一种用于半导体、显示面板等精密玻璃制品生产的关键工艺,通过精确控制温度、时间和环境,确保基板去除杂质、提高平整度和稳定性。玻璃基板通过传送带或辊道系统连续通过多个温区,依次完成预热、恒温烘烤和冷却。
隧道炉分为多个独立温区,每个温区可独立调节温度(常见范围:常温至500℃),温差控制在±3℃以内,避免基板因热应力变形或开裂。
技术特点:
● 隧道炉分为多个独立温区,每个温区可独立调节温度,温差控制在±3℃以内,避免基板因热应力变形或开裂;
● 特制传送带,保证玻璃基板上下两面受热均匀;
● 炉内无尘环境,具备惰性气体(如氮气)保护,防止氧化或污染;
● 烘烤隧道炉同时具备降温功能,可避免快速降温导致基板热冲击破裂;
● 炉盖升降机构便于定期清洁,保养以及维修等需求。
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