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双门双控无氧烘箱案例

双门双控无氧烘箱案例

​和记AG平台娱乐官网双门双控无氧烘箱设备适用于多种半导体材料和工艺的热处理,如晶圆塑封干燥、银胶固化、晶圆光刻的软烤和硬烤等工艺,以及各类抗氧化热处理。采用专有的腔室结构和密封技术,确保出色的气密性和温度均匀性,同时具备快速冷却功能,以缩短处理时间。其高效、安全和可靠的性能,满足了半导体行业对烘烤设备在精确度、均匀性和无氧化环境方面的严格要求。
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设备简介:

和记AG平台娱乐官网双门双控无氧烘箱设备适用于多种半导体材料和工艺的热处理,如晶圆塑封干燥、银胶固化、晶圆光刻的软烤和硬烤等工艺,以及各类抗氧化热处理。采用专有的腔室结构和密封技术,确保出色的气密性和温度均匀性,同时具备快速冷却功能,以缩短处理时间。其高效、安全和可靠的性能,满足了半导体行业对烘烤设备在精确度、均匀性和无氧化环境方面的严格要求。

应用范围:
● 陶瓷材料无尘烘干、光伏新能源、新材料退火无氧氛。
● 太阳能电池板的生产过程中,用于无氧化的热处理。
● 精密电子信息元件、光刻胶、PI、BCB胶等固化烘烤。
● 电子组件的无氧化干燥和热处理,如PCB板、电容器、电阻器等。
● IC封测中塑封干燥、银胶固化、晶圆光刻的软烤和硬烤等抗氧化热处理。


双门双控无氧烘箱

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