在半导体和集成电路制造过程中,封装是确保芯片稳定、可靠运行的关键。烘箱作为封装工艺中的热处理设备,是通过控制温度和时间,对封装材料进行加热处理,以达到固化、干燥、去应力等目的,确保封装过程中的关键步骤得以顺利完成,从而保障最终产品的质量和可靠性。
一、塑封固化
塑封固化是封装工艺中最常见的使用烘箱的工序之一。在这一工艺中,芯片、金属引线和框架等被放置在模具中,并注入液态的环氧树脂。模具被送入烘箱中进行加热,使环氧树脂在高温下固化,形成坚硬且保护性能良好的封装层。
烘箱在塑封固化过程中的作用主要体现在以下几个方面:
1、提供均匀、稳定的热源:烘箱内的温度分布均匀,可以确保环氧树脂在整个封装层中均匀固化,避免产生局部未固化或过度固化的现象。
2、精确控制温度和时间:通过烘箱的精确控制,可以确保环氧树脂在最佳的温度和时间条件下进行固化,从而获得最佳的封装效果。
3、保持一定的湿度和气氛环境:烘箱还可以控制内部的湿度和气氛环境,以满足不同封装材料的要求,确保封装层的质量和可靠性。
二、烘烤前处理
在封装之前,芯片和其他组件可能需要进行一些预处理,如清洗、干燥和预热等。这些预处理步骤通常需要在特定的温度和湿度条件下进行,以确保后续封装过程的顺利进行。
烘箱在烘烤前处理中,主要用于以下方面:
1、清洗和干燥:烘箱可以通过加热和通风去除芯片表面的水分和杂质,确保封装层与芯片之间的良好接触。
2、预热:烘箱还可以将芯片加热至一定温度,以减少封装过程中的热应力和变形,提高封装质量。
三、烘烤后处理
封装完成后,产品可能还需要经过一些后处理步骤,如去除气泡、改善界面性能和降低应力等。这些后处理步骤同样需要烘箱的支持。
烘箱在后处理中的应用主要包括:
1、去除气泡:通过适当的温度和时间控制,烘箱可以帮助去除封装层中的气泡,提高封装层的致密性和可靠性。
2、改善界面性能:烘箱还可以促进封装材料与芯片之间的界面反应,改善界面的电性能和机械性能。
3、降低应力:通过适当的温度和时间控制,烘箱可以降低封装过程中的热应力和机械应力,提高产品的长期稳定性。
在传统封装工艺中,烘箱被广泛应用于塑封固化、烘烤前处理和烘烤后处理等多个关键工序。烘箱通过提供均匀、稳定的热源、精确控制温度和时间以及保持一定的湿度和气氛环境等功能,确保了封装过程的质量和可靠性。烘箱在封装工艺中的应用也将继续得到优化和改进,以满足更高性能和更严格的质量要求,和记AG平台娱乐官网机电会持续研发及改进热处理设备,为工业制造企业提供合适的热处理解决方案。
传统封装中哪些工序会用到烘箱
2024-07-01 深圳市和记AG平台娱乐官网机电科技有限公司
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